組分激光氣
激光工作物質是混合氣或單一純氣體。由于激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、水、碳氫化合物等雜質的存在將導致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損，還會引起激光發射的不穩定。因此，對激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進行干燥處理，防止污染混合氣。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為第一代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導體制造領域將大量使用的氟化氪(KrF)激光，可稱為第三代激光。
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類 |
混合器組成/（10-2） |
用途 |
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H2 |
Ne |
Ar |
N2 |
CO2 |
Kr |
F |
Xe |
CO |
HCI |
平衡氣 |
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氦氖激光混合氣 |
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2-8.3 |
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He |
用于工業生產，科學研究和國防建設等領域 |
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CO2激光混合氣 |
0.4 |
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13.5 13.0 8.0 6.0 16.0 8-12 |
4.5 7.0 8.0 8.0 16.0 6-8 |
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2.0 4.0 2.0 4.0 |
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主要用于激光加工，如金屬、陶瓷的切割、焊接與鉆孔以及醫療上的激光外科等 |
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氪氟激光混合氣 |
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5.0 |
10.01-0.2 |
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用于保護膜導光以及化學反應等領域。貯存器制造中的石板印刷已開始使用氟化氪激光 |
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密封束激光氣 |
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18.5 |
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3 |
2.5 |
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作研究用的密封束激光氣 |
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準分子激光氣 |
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25.8 |
9.8 |
0.004 |
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15.02 |
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5.0 |
Ar He He Ar |
準分子激光器用于醫療上的外科手術 |
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